Producción de ozono mediante plasma frió.
En el método de producción de ozono mediante plasma frío, el gas oxígeno puro se expone a un plasma creado por descarga de en una barrera dieléctrica. El oxígeno diatómico (molecular) se divide en átomos individuales, que luego se recombinan en tríos para formar ozono.
La máquina de producción de plasma frió utiliza oxígeno puro como fuente de gas de entrada y produce una concentración máxima de ozono alrededor del 5%. Mediante este método, se producen cantidades mucho mayores de las que se producen en la capa de ozono estratosférica ,en un determinado espacio y tiempo, en comparación con la producción de luz ultravioleta de las altas capas de la atmósfera (disociación de la molécula de oxígeno mediante radiación ultravioleta de baja longitud de onda). Sin embargo, ya que los generadores de plasma frío son muy caros, se encuentran con menos frecuencia que los de efecto corona (mediante descargas eléctricas).
En estos generadores, las descargas se manifiestan como la transferencia de filamentosa de electrones (micro descargas) en un hueco entre dos electrodos. Con el fin de distribuir uniformemente las micro descargas, un aislante dieléctrico debe ser utilizado para separar los electrodos metálicos y para evitar la formación de chispas y deterioro rápido de dichos electrodos.
Algunas unidades de plasma frío también tienen la capacidad de producción de alótropos del oxígeno de corta duración que incluyen O4, O5, O6, O7, etc Estas especies son aún más reactivo que el O3 ordinaria.